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HPC1100高压控制器

  • 点击次数:
  • 发布日期:2021-06-21 11:38
  • 简述:HPC1100高压控制器 产品概述 产品名称:高压控制器 产品型号:HPC1100 品牌:LIGHTHOUSE美国莱特浩斯 采样流量:28.3L/min 粒径范围:0.1m 或更大 流速:1.0 CFM...
详细介绍
HPC1100高压控制器
产品概述
  1. 产品名称:高压控制器
  2. 产品型号:HPC1100
  3. 品牌:LIGHTHOUSE美国莱特浩斯
  4. 采样流量:28.3L/min
  5. 粒径范围:0.1μm 或更大
  6. 流速:1.0 CFM
  7. 输出压力:接近大气压
  8. 输入压力:30-150 psi
  9. 尺寸:14.22 x 19.30 x 26.21 cm
 
设计采用了新技术, 在高压气体成分,HPC 1100允许LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子计数器对高压(30-150 psi)的惰性气体系统提供工艺气体污染的监测能力。
HPC 1100的不锈钢设计坚固耐用,可靠,几乎不需要日常维护和校准。在正常操作过程中,惰性气体可被回收采样过程中使用100%的供气。
 
 
 
 
 
 
 
产品特色
特征 优点 应用
  • 可用于任何惰性气体
  • 轻松设置
  • 安装简单
  • 前置流计
  • 直观的用户控制
  • 安静的操作
  • 快速清除和清理
  • VCR接头内部和外部
  • 不锈钢结构
  • 在正常操作过程中的零气体废物
  • 近常压输出
  • 低噪声
  • 小尺寸
  • 便于系统集成
  • 2年保修的
  • 较低的拥有成本
  • 工艺鉴定
  • 半导体制程监控
  • 平板过程监控
  • 过程趋势分析
 
 
主要技术参数及性能:
粒径范围 0.1μm 或更大
流速 1.0 CFM
输出压力 接近大气压
输入压力 30-150 psi
兼容气体 氮,氩气,氦气
运行噪音 <60 db
外壳 不锈钢
材质 316L 不锈钢
尺寸 5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]
重量 6 lbs (2.7 kg)
随机配件 采样管; VCR密封件; 尼龙螺帽;套圈
可选件 备用采样管; 14英寸不锈钢过滤器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)
 
 
 

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